《真空镀膜技术》实验指导书全)

《真空镀膜技术与设备》指导书课程编号：02210131课程名称：真空镀膜技术与设备试验一真空蒸法镀膜试验一、试验目的与要求1）进一步把握真空蒸发镀膜机构造特点；2）进一步把握真空蒸发镀膜物理过程；3）初步把握真空蒸发镀膜操作技术；4）了解影响真空蒸发镀膜厚的因素。二、试验设备与工具1）CCD-500BD超高真空镀膜机-台，真空系统见示意图1；图1.CCD-500BD镀膜机真空系统示意图1■真空蒸发器；2-超髙真空阀；3■液氮冷阱；4-...